ВАКУУМ ТЕХНИКАСИ — вакуум ҳосил қилиш, уни сақлаш ва ўлчашда ишлатиладиган усуллар ва қурилмалар мажмуи. Физика ва кимёнинг газларга, уларда ўтадиган ҳодисаларга ҳамда газсимон фазалар ва б. нинг ўзаро таъсирлашуви қонунларига асосланади. Вакуум техникасида қўлланиладиган қурилмалар — вакуум насослари, вакуумметрлар ва б. асбоблар ҳажми бир неча юз м3 ли саноат курилмаларида (мас., ядро зарралари тезлаткичларида) 10~4—10»6 Па (10~6 — 10~8мм сим. уст.)вакуум ҳосил қилишга ва уни ўлчашга имкон беради. Юқори вакуум кетма-кет уланган диффузион, бустер ва форвакуум ёки диффузион форвакуум насослар тизими ёрдамида ҳосил қилинади. Механик форвакуум насослар б-н атмосфера босимидан то 101 Па (10° мм сим. уст.) гача; буғ оқимли (ёки механик) бустер насослар билан 101—КИ Па (МУ3—Ю-4 мм сим. уст.) гача; диффузион насослар билан 103 Па гача вакуум ҳосил қилинади. Саноат Вакуум техникасида газ ажралиб турувчи шароитда ишловчи технологик қурилмаларнинг камерасидаги ҳаво вакуум агрегатлари билан сўриб олинади. Тўлиқ вакуум агрегатлари таркибида насослар, вакуумметрлар, вентиллар ҳамда вакуумни ўлчовчи мосламалар бўлади. Вакуум техникасининг муҳим вазифаларидан бири вакуум тизимининг герметиклигини (зичлигини) таъминлашдир. Турли вакуум мойлари, замазкалари, зичлагичлари шу мақсадда ишлатилади. Вакуум техникаси экспериментал физика билан чамбарчас боғлиқ. Термоядро реакциялари ўтадиган қурилмалар камерасида вакуум — 10»» Па (1013 мм сим. уст.) га етади. Шунчалик юқори вакуум ҳосил қилиш учун секундига ўн минг литрча ҳаво сўрадиган насослар ишлаб чиқилган. Катта вакуум камераларида космик бўшлиқ шароитларини яратиш мумкин.